Silikonkarbid-kantelaars
Produk gedetailleerd en toepassing
Groot wafer laaikrag silikonkarbied SiSiC / SiC cantilever paddle / balk is geskik vir 'n outomatiese laai- en hanteringstelsel van 'n robot, want dit het stabiele werkverrigting, nie-vervorming in hoë temperatuur en groot wafer-laaikrag. Aangesien die gedeelte van die cantilever-paddle stabiel is sonder vervorming, is dit moontlik om groter wafers te maak met bestaande oondbuise. Groot wafer laaikrag silikonkarbied SiSiC / SiC cantilever paddle / balk kan op LPVCD toegepas word op grond van die soortgelyke termiese uitbreidingskoëffisiënt met LPVCD coating, wat die onderhoud en skoonmaak siklus aansienlik verleng en besoedeling aansienlik verminder.
Tegniese parameters van reaksiesgebonde silikonkarbied RBSIC:
| item | eenheid | data |
| Toedieningstemperatuur | ℃ | 1380 |
| digtheid | G / cm3 | > = 3.02 |
| Open porositeit | % | <0.1 |
| Moh se skaal van hardheid | 13 | |
| Buigsterkte | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulus van elastisiteit | GPA | 330 (20 ℃) |
| GPA | 300 (1200 ℃) | |
| Termiese geleidingsvermoë | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Koëffisiënt van termiese uitbreiding | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Suurbestande alkalies | Uitstekend |
Kenmerke:
a. Dit vervorm nie by hoë temperatuur nie en die wafer-laaikrag is groot;
b. Uitstekende weerstand teen termiese skok en lang lewensduur;
c. Die hitte-uitbreidingskoëffisiënt van die cantilever-paddle is baie klein, wat die onderhouds- en skoonmaaksiklus baie verleng;
en besoedelingstowwe drasties te verminder
Ander oondmeubels gemaak van keramiek van silikonkarbied
Behalwe die SiSiC-cantilever-roeier vir reaksiesinterde silikonkarbied vir die laai van wafels, produseer ons ook ander oondmeubels, insluitend RBSIC / SISIC-silikon-hardmetaalbalke, spuitbuisies, spiraalvormige spuitbuis, wringerspuitbuis, oksiedgebindde SIC-silikonkarbidkolwe / setterplaat en RBSIC-koelbuisies .
Dra weerstandbiedende RBSIC / SISIC silikonkarbiedprodukte
Aangesien ons RBSIC / SISIC-silikonkarbiedproduk die voordele het van uitstekende slijtvastheid, korrosiebestandheid en lang lewensduur, kan dit ook verweer word in slijtvaste voerings wat maklik in verwerkingspype of siklone geïnstalleer kan word.
